半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
建设项目背景图案
该服务业园众多了十余家半导体设备涉及到各个商家,制作日办理效果5000吨,必须要办理来自五湖四海不相同各个商家的混合法工业化工废水。在各各个商家生产鑫霖环保流程差异化大,工业化工废水材质繁杂变化,办理困难较高。
废气含量及来原
废污水最主要的或是3大类:高密度有机酸化学废污水(光刻胶、成像液等)、含氟废污水(刻蚀制作多种工序)和酸碱性废污水(拆洗制作多种工序)。特别组成或是异丙醇、四甲基氢被氧化铵等难降解塑料有机酸化学物,或是氟化物、化学需氧量等有机物污染源物。废污水COD跌涨大(500-3000mg/L),氟化物密度100-500mg/L,化学需氧量50-150mg/L。
净化处理步奏步奏
用"归类自身+分质治理 +集中点纵深治理 "的研发方式:
工业企业内部人员细分预加工外理:含氟废水外理方法专门自身并预加工外理
园林管道工程总类输送机机系统
总体调控池动态平衡地表水
有级沥青混凝土奠定彻底清除自动隐藏物和氢氧化铁
高效化微生物想法器(HBR)进行处理有机酸环境污染
三氧催化剂的作用氧化的降解塑料难转化生物碳物
反加入体统做出脱盐操作
太阳光的红外光线线消毒杀菌抓实溢水安全卫生
越来越设制了线上探测操作系统的和自動加量操作系统的,克服水源振幅。
终究治疗效果
设计适用一年来,进行处理疗效安稳安全可靠。留水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氯离子<5mg/L,总氮<15mg/L,达标水质监测Ⅳ类规范,方面造纸废水处理于工业区景观及一系列闭式冷却塔补湿,造纸废水处理率超30%。几乎每年少清新水适用约20万吨,为工业区公司企业大大节省水电费百余万块人民币。