半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
項目题材
该半导体技术商家应用于长四角各地,主要加工8寸大和12寸大晶圆,日尾气排放规则物废发电量约2000吨。由鑫霖环保设备繁杂,废清水中包含许多难生物降解无机物和高价属正离子,传统的清理的方法不可需求越来越按照严格的尾气排放规则物规则。
化工废水含量及特征
工业生活污水具体源自两个关键点:晶圆打磨工业生活污水含不少硅粉和打磨液留;催化机械性抛光处理工业生活污水含橡胶胶体部分硅和研磨机颗粒状;刻蚀的洗涤工业生活污水含氟化物、铜铁离子等高价属;光刻生产工艺工业生活污水则含光阻剂等有机物环境破坏物。水环境作用是COD高(800-1500mg/L)、氟化物溶液浓度高(200-400mg/L)、漂浮物多且含轻微高价属。
治理施工工艺程序
采取"物理化学预处里+什么是生化处里+深度的处里"的搭配组合技艺:
调理池均衡化水环境出水量
沥青混凝土乳浊液清掉自动隐藏物和电解质溶液产品
化学物质奠定自己法专做除理氟化物,加药钙盐型成氟化钙奠定自己
淀粉水解过酸池升高废水处理可生物化学性
使用氧化的池挥发有机的环境破坏物
特异性炭吸附剂塔来进行深层处理
膜破乳操作系统保障溢水饮用水质稳定的
采取含铜废液分次安装阴阳离子交互系統,收旧有使用价值的塑料铜。
后面疗效
投资项目建起后操作保持稳定,喷水COD<50mg/L,氟化物密度<5mg/L,铜阳离子密度<0.3mg/L,基本指标值均远高于国家的《光电工业园水空气污物减排细则》(GB 39731-2020)。次年可抑制COD减排约300吨,氟化物减排约50吨,收购铜五金约2吨,建立了环境收益与市场经济收益的互惠互利。