北京某半导存储芯片生产制作厂，晶圆生产制作的过程 中造成含硅、氟的个性化生活污水除理工艺，构思除理经营规模1200吨/日。生活污水除理工艺基本成分很复杂，包含的奈米级硅粒状及盐酸，一般除理步骤仍未达到。 废水处理工艺营养成分及种类 主要的环境破坏物 ：胶体溶液硅（100-500nm颗粒直径）、氟铝离子（200-300mg/L）、异丙醇 源头制作工序 ：晶圆刻蚀生活污水（45%）、CMP普通机械装备机械装备抛光剂生活污水（40%）、生产设备擦拭水（15%） 加工生产工艺方法 创新性用于"电化学沉淀自己+特总膜分割"能力自驾线路： 钙盐沉淀物 ：添加氯化钙取除氟阳离子（转换成CaF2凝固） 水解酸化池反映 ：混合斜板沉淀池剂进行固体硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm外径膜挤占微细颗粒状 超滤性模式 ：脱盐率>98%，回收并率75% 蒸发器结晶体 ：浓水段保证氟化物零直接排放 结果疗效 氟化物有机废气浓度：<8mg/L（高出祖国四级标准化10mg/L） 硅含锌量：<5mg/L 水信息造纸废水处理率：70%用以散热塔补充水分 危废处理减轻：多效蒸发残留物量较传统的鑫霖环保缩短60%