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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体器件IC芯片打造厂在晶圆加工厂整个过程中,运行硅烷做出硅外延性生张,烟气洗衣机清洗塔会产生高浓硫酸浓度含硅化工污水。化工污水具备着pH下跌大(2-11)、硅浓度高的优点和缺点,传统式进行处理步骤易诞生硅垢梗塞情况。 废水处理工艺因素及源 废水处理工艺其主要成份为: 溶解出来性硅酸盐 :SiO₂密度达1000-1500mg/L 浓盐酸/氢氧化物钠 :洗衣机清洗塔耐酸碱洗衣机清洗液农药残留 颗粒状硅 :微米级SiO₂电解质溶液 痕量砷 :化学原料不溶物带 解决工艺技术制作流程 全新应用"二级结合+膜过滤程序+化掉心得"施工工艺: 1级中合 :用CaO调低pH至4-5,提取硅酸钙结晶,硅快速清理率60%。 下级结合 :加Na₂CO₃将pH增加至9,继续骤析出剩下的硅,串并联用镁剂除砷。 反渗透装置体系 :0.02μm陶瓷制品膜滤出微米级硅颗粒肥料,通量可靠在80LMH。 MVR汽化器 :果汁高盐生活污水,结晶体出Na₂SO₄副產品,水回收利用率超90%。 结果是结果 总硅从1500mg/L降到5mg/L以內 砷含锌量从0.8mg/L降落到0.01mg/L 程序无积灰程序运行已经超过2年 每月收集硝酸钠钠纳米线约800吨

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