某半导体器件IC芯片打造厂在晶圆加工厂整个过程中,运行硅烷做出硅外延性生张,烟气洗衣机清洗塔会产生高浓硫酸浓度含硅化工污水。化工污水具备着pH下跌大(2-11)、硅浓度高的优点和缺点,传统式进行处理步骤易诞生硅垢梗塞情况。
废水处理工艺因素及源
废水处理工艺其主要成份为:
溶解出来性硅酸盐
:SiO₂密度达1000-1500mg/L
浓盐酸/氢氧化物钠
:洗衣机清洗塔耐酸碱洗衣机清洗液农药残留
颗粒状硅
:微米级SiO₂电解质溶液
痕量砷
:化学原料不溶物带
解决工艺技术制作流程
全新应用"二级结合+膜过滤程序+化掉心得"施工工艺:
1级中合
:用CaO调低pH至4-5,提取硅酸钙结晶,硅快速清理率60%。
下级结合
:加Na₂CO₃将pH增加至9,继续骤析出剩下的硅,串并联用镁剂除砷。
反渗透装置体系
:0.02μm陶瓷制品膜滤出微米级硅颗粒肥料,通量可靠在80LMH。
MVR汽化器
:果汁高盐生活污水,结晶体出Na₂SO₄副產品,水回收利用率超90%。
结果是结果
总硅从1500mg/L降到5mg/L以內
砷含锌量从0.8mg/L降落到0.01mg/L
程序无积灰程序运行已经超过2年
每月收集硝酸钠钠纳米线约800吨