该厂为85英寸晶圆的生产设备相互配套的超净水设备，每周生成含硅生产废水150吨。生产废池里虽无血本属，但硅含磷量高易水垢，且电阻值率需达到18MΩ·cm才可以回收。原本有除工院艺时未达到新发布的《光学化学工业水弄脏物废气的排放要求》（GB39731-2020）越来越废气的排放规定值。 废气成分表特别 关键水有害物质 ：胶体溶液硅（200-300mg/L）、颗粒肥料硅（粒度0.1-1μm） 异常规范 ：TOC<10μg/L，硼含碳量<5μg/L 水环境性状 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅氧化物型态复杂性 正确处理艺环节 科技创新运用"梯级膜脱离+电去化合物"三人组合方法： 微滤预除理 ：1μm瓷器膜屏蔽短信大粉末硅，通量维护80LMH 亚铁离子变换光敏树脂 ：D201大孔硅胶粘合剂选泽性离心分离硅酸大分子 二次RO系统化 ：一号段收回率60%，第2段进行高脱硼膜零件 EDI电去阴阳离子 ：交流电强度2A/m²，延续剔除稳定度铝离子 UV紫外线杀菌消毒 ：254nm太阳光的紫外光线线药量40mJ/cm² 技木成效 制作专用型阻硅剂（设计胺类复合材料物），廷迟膜被污染的过渡期3倍 EDI引擎创新发展流道规划，硅消除率大幅提升至99.8% 线硅定量分析仪器（測量超范围0.1-500μg/L）确保深度贫困控住 自动运行工作成效 经3.方检查： 总硅从280mg/L降为0.05mg/L 硼含量从8μg/L降下来0.3μg/L 平台回收利用率从原40%升降至68% 膜改换时间是延迟至5年，年正常运行成本费用降底35%