该晶圆制造出厂最靠近苏北各地,包括产量8寸大半导体技术晶圆,平均废水处理方法来进行产量下跌约800吨。可能产量整个过程中采用更多氢佛酸来进行晶圆蚀刻,造成的废水处理方法中氟化物有机废气浓度更是高达200-300mg/L,远超国家地区来进行的排放原则(10mg/L左右)。
废渣营养成分及特征
电镀废水大部分源自以下三个部门:
晶圆蚀刻制作工序
:含高含量氟化物(HF)、氯化铵及少量出血本属
电化学机械设备拋光(CMP)废液
:含nm级硅小粒、有机物络合剂
设施设备家电清洗生活污水
:含异丙醇、高锰酸盐指数等生物碳物
外理制作工艺步骤
所采用"电学滤渣+混疑滤渣+深浅过虑"三阶段除理程序:
七级补救
:添加氯化钙和氢脱色钙,建成氟化钙奠定,氟化物弄掉率达85%
二次补救
:使用PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(聚丙烯塑料酰胺),我们要除悬浊液态污染源物
二级加工处理
:能够多媒介过滤系统器和活性酶类炭吸附物,水流氟化物氧化还原电位不稳定性在8mg/L下类
重中之重机 涉及到:pH电脑自动调接系统的、斜管沉定池、板框刮刀离心机(污泥处理脱水现象)。
最终能够目的
活动启用三年期探测数据展现展现:
氟化物峰值含量:7.2mg/L(大于欧洲国家条件)
COD除掉率:92%
生活污水含水量率:≤65%
年收废氟化钙副车辆约150吨,控制资源共享化充分利用